| 微电子工艺清洗技术的应用分析 |
| 杨丹凤; |
| 关键词：微电子设备;清洗技术;干法清洗 |
| 主要内容：随着科学技术的发展,我国的微电子技术得到了快速发展,使电子元件的集成程度越来越高,给微电子器件的清洗工作带来了很大的挑战,其清洗质量对电子设备的质量也会造成严重的影响。对此,本文对微电子工艺清洗方法的现状进行了分析,并提出了有效的清洗对策。 |
| 《通讯世界》 2017,(23):331-332 |
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