| 微电子综合实验仪的设计 |
| 万世松;张晓波;熊恩毅;马清呈;柳吉辉; |
| 关键词：伏安特性测试;参数测试单元;自动测试设备 |
| 主要内容：本文以微处理器为核心,搭配仪表放大器、模拟开关、大功率运算放大器、高精度模数转换器等外围器件,设计了微电子综合实验仪。该仪器主要包括电流源、电压源、电压表、电流表、温度测试单元等模块,可以完成微电子专业相应的实验内容,如电阻率测试、热探针法 |
| 《电子世界》 2017,(04):165-167 |
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