| 微系统三维集成技术的新发展 |
| 赵正平; |
| 关键词：微系统;3D集成;成像传感;光集成;惯性传感;射频(RF);生物;多核逻辑电路; |
| 主要内容：进入新世纪,微电子的发展进入纳电子/集成微系统时代,人们在继续发展摩尔定律的同时,创新了超越摩尔定律的微系统三维集成技术。介绍了在成像传感、光集成微系统、惯性传感微系统、射频微系统、生物微系统和逻辑微系统的三维集成技术的新发展,包含MEMS |
| 《微纳电子技术》 2017,54(01):1-10 |
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