| 协同分析在集成电路失效定位中的应用探讨 |
| 虞勇坚;邹巧云;吕栋;陆坚; |
| 关键词：集成电路;失效分析;协同分析;失效定位 |
| 主要内容：随着集成电路规模和制造工艺的发展,对失效电路进行失效点定位的难度也越来越大,单独依靠一种分析方法很难实现失效点定位。利用先进分析仪器设备,采用多种方法协同分析,成为针对大规模集成电路失效定位分析的必然选择。从有效实现失效定位为出发点,根据失 |
| 《电子与封装》 2017,17(08):36-40+48 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号