| 新型Cu_Ti_SiO_2碱性精抛液对TSV碟形坑和塌边的修正 |
| 刘俊杰;刘玉岭;牛新环;王如; |
| 关键词：硅通孔;化学机械抛光;碟形坑;阻挡层;有机胺碱 |
| 主要内容：研发了一种无氧化剂无抑制剂的新型碱性TSV精抛液,通过单因素实验确定FA/O Ⅰ型非离子表面活性剂和有机胺碱的体积分数,以使Cu/Ti/SiO_2的去除速率满足选择比。根据表面活性剂的优先吸附理论来降低碟形坑内部反应界面的能量,同时运用大分 |
| 《稀有金属》 2017,41(12):1359-1368 |
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