| 压电驱动菱形放大式胶体微喷系统的建模与实验 |
| 路士州;周凤岐;任晨亮;刘伟;黄博; |
| 关键词:微喷阀;压电致动;位移放大;集总参数法;电子封装 |
| 主要内容:为实现微电子封装领域各类胶体的精确微量分配,设计了基于菱形放大机构放大压电致动器位移的微喷系统,利用集总参数法建立了该系统的等效电器模型,通过实验验证了模型和仿真结果的可靠性,分析了系统参数对胶滴体积和脱离效果的影响.实验和仿真表明:撞针位 |
| 《北京理工大学学报》 2017,37(09):926-932 |
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