产业集群决策
 
掩模板设计的信息提取自动化方法
 
周京英;
关键词：掩模板;工艺设计;信息自动化;程序
 
主要内容：要提高掩模板设计的效率和准确率,实现信息提取的自动化是关键。从芯片代工厂(Foundry)的掩模板设计标准流程出发,对于各步骤涉及的各类信息如何进行自动化处理,对于如何使用程序实现信息的系统化进行描述。
 
《集成电路应用》  2017,34(04):58-61
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