| 一种使沟槽侧角圆滑的新颖STI工艺 |
| 顾祥;徐海铭;陈海波;吴建伟; |
| 关键词：STI;Nitride pull back;凹槽(divot);反窄沟道效应 |
| 主要内容：介绍了一种使沟槽侧角圆滑的STI工艺技术,该技术在沟槽腐蚀完,通过湿法工艺去除部分氮化硅(Nitride Pull back),再正常生长线性氧化层,使槽的侧角更加圆润光滑,同时减小了沟槽Divot深度。该工艺避免了附加高温热过程所导致的缺 |
| 《电子与封装》 2017,17(03):32-35 |
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