| 应用于MEMS压力传感器的读出芯片设计 |
| 魏榕山;黄海舟; |
| 关键词：压力传感器;读出电路;失调消除;斩波技术;自调零 |
| 主要内容：基于斩波技术和开关电容结构,研究并设计一款用于MEMS压力传感器的低噪声、高精度读出芯片。在经典三运放结构的基础上增加了斩波开关,并在传统自调零结构上进行改进,引入一种开关电容滤波器,实现对失调电压的消除。采用SMIC 0.18μm CMO |
| 《中国集成电路》 2017,26(08):42-45+48 |
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