| 阵列式芯片特定区域内微流体加热研究 |
| 王保成;章安良; |
| 关键词：声表面波;叉指换能器;阵列式芯片;微流器件;加热 |
| 主要内容：提出了阵列式芯片特定区域内微流体的加热方法,研制了4×4阵列式聚二甲基硅氧烷芯片及其特定区域的加热组件。在128°YX-LiNbO3基片上光刻16个叉指换能器,其激发的SAW驱动压电基片上油相流体,使其输运到待加热区的传热柱上,在油相流体两 |
| 《压电与声光》 2017,39(05):790-793 |
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