| 自动金丝键合参数的影响及其优化 |
| 刘波;崔洪波;苏海霞;王腾飞; |
| 关键词：金丝键合;金丝变形;超声功率;键合压力;正交试验 |
| 主要内容：通过控制单一变量的试验方法,研究了金丝变形度、超声功率、超声时间和键合压力等参数对自动键合一致性和可靠性的影响,分析了每个参数对自动键合的影响规律,给出了自动键合参数的参考范围。通过正交试验方法,优化了键合参数组合,并进行试验验证。给出了不 |
| 《电子工艺技术》 2017,38(02):102-106 |
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