| 等离子体沉积制造光波导评述 |
| Peter Bachmann ,朱清文 |
| 关键词：光波导;单模;等离子体沉积;不可约模;激 |
| 主要内容：本文对应用高气压和低气压等离子体沉积法制造光波导作了评述。首先概略地讨论了光波导的工作原理、类型及其制造要求,接着叙述了光纤制造的各种方法。详细阐明和比较了等离子体外沉积(POD)、等子体增强化学汽相沉积(PMCVD)和低气压等离子体活化化 |
| 《光通信技术》 1986,(02):42-51 |
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