| 基于0.6μm CMOS工艺的pH值传感器集成电路设计和研究 |
| 施朝霞, 朱大中. |
| 关键词：pH值传感器;;恒流恒压;;灵敏度;;集成电路 |
| 主要内容：介绍了一种基于上华0.6μmCMOS工艺实现的pH值传感器集成电路的设计和研究,它采用标准CMOS工艺提供的Si3N4钝化层作为氢离子敏感层,并以多层浮栅结构的ISFET作为传感单元.信号处理电路由基准电流源、恒流恒压控制电路、输出差分电路等组成,使电路输出信号与pH值的变化量呈线性关系.实测结果表明该电路在溶液pH值从1-13范围内输出电压的平均灵敏度为35.8mV/pH,线性度优于5%.该集成电路实现了pH值传感单元与信号处理电路的单片集成. |
| 《传感技术学报》 2006,(6):2501-2504 |
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