| 埋沟道P沟CCD红外信号处理器件的研制 |
| 程开富 刘心莲 |
| 关键词：红外信号处理器件 工作频率 动态范围 转移效率 埋沟道P沟CCD 工作原理 设计 制作工艺 |
| 主要内容：采用三相埋沟结构，研制成了2×64位埋沟道P沟CCD红外信号处理器件。该器件采用埋沟和三层多晶硅技术，其动态范围达到45dB，转移效率≥99．995％，工作频率≥3MHz。本文对该器件的工作原理，设计和制作工艺作了详细的介绍。 |
| 《四川真空》 2001(2).-53-58 |
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