| 集成电路工业的废气处理 |
| 朱海英[1,2] 黄其煜[2] |
| 关键词：集成电路工业 废气 分类 处理方式 应用范围 |
| 主要内容：集成电路工业的废气有含氟化物和硫酸雾的酸性废气、含氨的碱性废气、含异丙醇和光刻胶的有机废气，含SiO2的含尘废气，以及含硅烷、磷烷的工艺尾气等，这些工业废气中大部分成分是有毒有害的，必须进行有效的处理才能排入大气中。本文主要讨论上述工业废气的分类、处理方式、应用范围及应用实例等。 |
| 《中国集成电路》 2008,17(2).-52-54,86 |
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