| TiAlN_VN纳米多层膜的微结构与力学和摩擦学性能 |
| 李淼磊;王恩青;岳建岭;黄小忠; |
| 关键词：反应磁控溅射;TiAlN/VN纳米多层膜;摩擦性能 |
| 主要内容：采用反应磁控溅射制备了Ti Al N/VN纳米多层膜,并使用X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、纳米压痕仪和多功能摩擦磨损试验机对多层膜的微结构与力学和摩擦学性能进行了表征和分析。研究结果表明:不同 |
| 《无机材料学报》 2017,32(12):1280-1284 |
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