| 不同刻蚀温度下的碳纳米管研究 |
| 席彩萍; |
| 关键词：碳纳米管;刻蚀温度;扫描电镜(SEM) |
| 主要内容：使用等离子增强化学气相沉积技术,将C2H2、H2和N2当成是反应气体,研制碳纳米管薄膜。使用扫描电镜(SEM)以及拉曼光谱(Raman)对其展开讨论,研究发现:催化剂刻蚀温度对碳纳米管薄膜的生长起着重要作用,获得定向性好、密度适中、杂质缺陷 |
| 《渭南师范学院学报》 2017,32(24):15-19 |
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