| 反应离子刻蚀制备石墨烯纳米盘阵列 |
| 李浩;付志兵;王红斌;易勇;黄维;张继成; |
| 关键词：石墨烯;化学气相沉积;PS微球;反应离子刻蚀;石墨烯纳米盘阵列 |
| 主要内容：采用化学气相沉积法以乙醇为碳源在铜箔生长的单层高质量的石墨烯并将其转移到SiO_2/Si基底上。然后在通过自组装的方法在石墨烯表面覆盖一层单层的PS微球阵列。采用反应离子刻蚀的方法在一定的刻蚀条件下对其进行刻蚀,随着刻蚀的时间增加,PS微球 |
| 《人工晶体学报》 2017,46(01):94-97+104 |
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