| 飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究 |
| 柳森;王欢;张永来; |
| 关键词：激光制造;激光加工;银纳米布线;飞秒激光;图案化 |
| 主要内容：对飞秒激光诱导银纳米布线的加工精度进行研究,并将其应用于微纳器件的加工领域。对飞秒激光与银离子前驱体溶液的相互作用进行了实验,通过对飞秒激光功率、曝光时间、前驱体溶液中表面活性剂种类以及浓度的调控,利用扫描电子显微镜对布线结构进行表征,得到 |
| 《中国激光》 2017,44(01):87-91 |
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