| 改善碳纳米管电接触性能的研究进展 |
| 刘扬;安立宝;龚亮; |
| 关键词:碳纳米管;电接触性能;场发射器;晶体管;互连线 |
| 主要内容:以基于CNT的微纳电子器件为基础,综述了近年来改善CNT与金属电极间电接触性能的研究进展,阐述了各种改善CNT与金属电极间电接触性能方法的原理和优缺点。通过超声波焊接处理、金属颗粒黏结、碳纤维辅助组装、包覆CNT等处理工艺,可以获得阈值电压 |
| 《现代化工》 2017,37(10):15-19 |
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