| 广东计量科学研究院完成多项微纳米技术科研项目 |
| 关键词：微纳米技术;广东省;测厚仪;扫描探针显微镜;计量院; |
| 主要内容：随着纳米科技及微加工的发展,微纳尺度产品的计量检测愈加迫切,需求也逐渐增大。为解决量传溯源问题,广东省计量院通过承担质检总局科研项目"微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究"和省科技厅科研项目"微纳米尺度薄膜台阶标样及膜厚量传体 |
| 《润滑与密封》 2017,42(09):91 |
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