| 可循迹纳米台阶标准样版的制备与表征 |
| 曲金成;雷李华;李锁印;蔡潇雨;魏佳斯;赵军;韩志国;李源; |
| 关键词：量值传递;刻蚀工艺;标准样版;纳米测量仪(NMM);溅射镀膜工艺 |
| 主要内容：介绍了纳米几何量量值传递中纳米标准样版的计量与溯源特性。分析了微纳米测量仪器在纳米标准样版几何参量校准中对标准样版循迹结构的具体需求。设计了标准值为60 nm,具有可循迹结构的纳米台阶标准样版。为了实现高精度、溯源性表征,基于计量型纳米测量 |
| 《微纳电子技术》 2017,54(12):840-846 |
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