| 纳米氧化铟_硅纳米孔柱阵列的酒敏特性 |
| 朱文亮;王伶俐;王文闯;冯明海;刘伟康;李新建; |
| 关键词：硅纳米孔柱阵列;氧化铟;气体传感器 |
| 主要内容：以硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)为衬底、高纯金属铟为铟源,采用化学气相沉积法制备了氧化铟(In_2O_3)/Si-NPA复合纳米体系,并对其表面形貌和结构进行了表征.结果表明,In_2O_3/Si-NPA中In_2O_3具有体心立方结构,其 |
| 《郑州大学学报(理学版)》 2017,49(01):70-74 |
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