| 热氧化方法制备直径可控的有序硅纳米线阵列 |
| 周步康;李新化;曹华翔;史同飞;陈涛;郑建强;王玉琦; |
| 关键词：金属辅助化学刻蚀;热氧化;低直径/周期比;硅纳米线;扩展Deal-Grove模型 |
| 主要内容：采用金属辅助化学刻蚀方法结合纳米球模板技术制备出了有序硅纳米线阵列。硅纳米线阵列经过高温热氧化形成一定厚度的氧化层,再使用稀释的HF溶液去除表面氧化层得到可控直径/周期比、低孔隙密度的有序纳米线阵列。主要研究了氧化温度、氧化时间对硅纳米线形 |
| 《半导体光电》 2017,38(04):521-525+540 |
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