| 我国掌握5nm栅长碳纳米晶体管的制备技术 |
| 关键词：晶体管;半导体三极管;碳纳米;栅长;制备技术;nm; |
| 主要内容：据报道,美国《科学》杂志近日刊登了北京大学信息科学技术学院彭练矛和张志勇课题组在碳纳米管电子学领域取得的世界级突破:首次制备出5 nm栅长的高性能碳纳米晶体管,并证明其性能超越同等尺寸的硅基CMOS(互补金属-氧化物-半导体)场效应晶体管, |
| 《炭素技术》 2017,36(01):27 |
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