| 直流溅射法制备SnO_2纳米颗粒的机理及工艺研究 |
| 刘敬茹;宋西平;王涵;陈嘉君;张蓓; |
| 关键词：SnO_2;纳米颗粒;直流溅射;制备工艺;机理研究;衬底 |
| 主要内容：采用直流溅射法成功制备出了SnO_2纳米颗粒,分析了SnO_2纳米颗粒的形成机理,研究了不同溅射时间、不同衬底材质对SnO_2纳米颗粒形成的影响规律。结果表明,溅射时间对SnO_2纳米颗粒的尺寸有显著影响。随溅射时间延长,颗粒尺寸呈线性增长 |
| 《电子元件与材料》 2017,36(01):57-61 |
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