| 中国建设真空互联科研装置 |
| 关键词:纳米器件;研发平台;纳米领域;超高真空;装置;中华人民共和国; |
| 主要内容:世界首个集材料生长、器件制备、测试分析为一体的纳米领域大科学装置——纳米真空互联综合实验站正在我国江苏苏州工业园区建设。这个实验站相当于在太空建设了一个全真空的纳米器件研发平台。正在建设中的这个纳米实验站是目前世界上最大的真空互联科研装置。 |
| 《机床与液压》 2017,45(08):197 |
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