产业集群决策
 
金刚石薄膜的低压气相沉积工艺及发展
 
李惠琪 李惠东
关键词：金刚石 薄膜 气相沉积 工艺
 
主要内容：
 
《表面技术》  1991,20(6).-1-7
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