金刚石膜合成条件下的鞘层与等离子体参数分布
 
詹如娟 江习承

关键词:等离子体密度 等离子体鞘层 金刚石膜
 
主要内容:
 
《核聚变与等离子体物理》  1996,16(3).-60-64
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