产业集群决策
 
金刚石薄膜中晶粒尺寸的研究
 
唐壁玉 靳九成
关键词：化学汽相沉积 金刚石薄膜 晶粒尺寸
 
主要内容：扫描电子显微研究表明，化学汽相沉积的金刚石薄膜中晶粒大小比较均匀。但随着沉积时间和薄膜厚度的增加，晶粒逐渐变大，且每一层内，存在少量的大金刚石颗粒，讨论了晶粒尺寸变化和大晶粒形成的原因和机制。
 
《材料科学与工艺》  1996,4(4).-94-97
全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp
Copyright © 广东省科技图书馆（广东省科学院信息研究所）  
粤ICP备05059360号-1 详细地址：广州市先烈中路100号        
联系电话：020-37656525 咨询邮箱：stlib@stlib.cn
  •  

  • 微信公众号

仿站