| 燃焰法沉积金刚石薄膜的实验研究 |
| 黄树涛 姚英学 |
| 关键词：燃焰法 金刚石薄膜 化学气相沉积 |
| 主要内容：研究分析了燃焰法沉积金刚石薄膜时基片表面处理状态，燃烧气体流量比基片温度对薄膜成核密度、质量和晶体形态的影响。结果表明，在不同粒度的研磨粉研磨的基片表面上金刚石薄膜成核密度不同；燃烧气体流量配比对金刚石薄膜的质量影响很大；基片温度是影响金刚石薄膜晶体形态的一个重要因素。 |
| 《材料科学与工艺》 1996,4(4).-89-93 |
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