人造金刚石低压气相生长的热力学研究
 
张卫 万永中

关键词:化学气相淀积 低压 气相生长 人造金刚石 热力学
 
主要内容:用非平衡热力学耦合模型研究金刚石在CH4/H2和C2H2/O2气相体系中的生长,计算了不同压力下这两种体系生长金刚石的相图,与用经典的平稳热力学理论计算的相图不同,得到的相图都有金刚石生长区。
 
《自然科学进展:国家重点实验室通讯》  1997,7(2).-170-174
全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp
仿站