产业集群决策
 
微波CVD法合成金刚石薄膜生长机理分析
 
方莉俐
关键词：金刚石 生长机理 微波CVD 薄膜
 
主要内容：探讨了微波等离子体ＣＶＤ法合成金刚石薄膜的生长机理，指出等离子体中ＣＨ３，ＣＨ２，Ｈ的含量是决定薄膜品质的关键因素。
 
《郑州纺织工学院学报》  1997,8(A04).-27-30
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