| 微波ECR等离子体化学汽相沉积金刚石膜的研究 |
| 沈明荣 汪浩 |
| 关键词：微波 ECR 等离子体 金刚石膜 CVD |
| 主要内容：本文利用微波电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体化学气相沉积（ＣＶＤ）法在较低气压下进行了金刚膜的沉积工艺研究，发现ＣＨ４气体的浓度可适当提高至ＣＨ４／Ｈ２＝０．８。所得的Ｒａｍａｎ谱图证实在该条件下得到的膜比在ＣＨ４／Ｈ２较小情况下得到的膜含有更多的金刚石相。 |
| 《苏州大学学报：自然科学版》 1997,13(1).-27-29 |
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