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微波CVD法在硬质合金工具表面合成金刚石薄膜的研究
李成明[1] 吕反修[2]
关键词：微波CVD 硬质合金 金刚石薄膜
主要内容：采用微波ＣＶＤ法对硬质合金表面金刚石的形核和金刚石薄膜的沉积进行了探索性研究，用激光喇曼谱仪对金刚石进行表征。研究了在硬质合金工具衬底沉积金刚石薄膜的结合强度。
《兵工学报》 1997,18(1).-73-76
全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp
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