| 高能氮离子注入人造金刚石的热稳定性 |
| 李鹏远 耿漫 |
| 关键词：人造金刚石 离子注入 热稳定性 高能 氦离子 |
| 主要内容：叙述了在ＧＬＺ－１００Ｅ工业离子注入机上采用２０－６０ｋｅＶ氮离子及氮分子离子注入人造金刚石晶体的实验研究。ＸＲＳ分析表明，注入离子在人造金刚石颗粒表面形成了一层较为稳定的含氮混合物层。高温差热分析的实验表明，经氮离子束处理的金刚石，其氧化起始温度由原来的７３０℃左右提高到８００℃以上，且随着氮注入剂量的增加而增加，氧化速率也随之变缓； |
| 《高压物理学报》 1997,11(4).-303-306 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号