用CH4—H2直流弧光放电CVD法高速合成金刚石薄膜
 
蒋翔六 张伤清

关键词:金刚石薄膜 直流弧光放电 CVD法
 
主要内容:
 
《兰州大学学报:自然科学版》  1989,25(3).-163-164
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