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微波等离子体CVD合成金刚石薄膜
张志明 洪爱玲
关键词：化学气相沉积 微波等离子体 CVD 金刚石薄膜
主要内容：
《上海硅酸盐》 1992(1).-1-2
全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp
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