| 采用扫描电镜的ECP技术分析人工合成金刚石晶体中的晶体缺陷 |
| 朱衍勇 廖乾初 |
| 关键词：金刚石 ECP技术 蚀坑技术 人造金刚石 晶体缺陷 |
| 主要内容：本文应用扫描电镜的ＥＣＰ技术对人造金刚石晶体表面的位错密度，进行了实验分析，并同位错蚀坑分析技术的测量结果进行了比较，结果表明，如采用临界束流强度作为描述ＥＣＰ本征衬度的参数，则它同位错密度间存在明显定量的数学关系，因此上述临界束流强度可用来评价晶体中位错密度的相对变化。 |
| 《电子显微学报》 1995,14(5).-369-372 |
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