| TiC中间过渡层对硬质合金表面沉积(类)金刚石的影响 |
| 刘锦云 刘颖 |
| 关键词:硬质合金 化学气相沉积 金刚石 碳化钛 |
| 主要内容:采用CH4-H2-O2微波等离子体化学相沉积法在硬质合金表面沉积金刚石薄膜,研究了TiC中间过渡层对金刚石沉积效果的作用及粘结机理,结果表明在相同沉积条件下TiC中间过渡层可以显著提高硬质合金表面沉积金刚石薄膜的生长速率,而且还可提高金刚石薄膜与基体的结合力。 |
| 《金属热处理学报》 1996,17(A00).-38-41 |
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