| 微波等离子体化学气相沉积装置的工作原理 |
| 吕庆敖 邬钦崇 |
| 关键词：化学气相沉积 装置 金刚石 薄膜 MPCVD |
| 主要内容：微波等离子体化学沉积是制备金刚石膜的一种重要方法，用简单实验方法给出了ＭＰＣＶＤ装置中微波模式转换，微波与等离子体耦合等工作原理，短形波导中的ＴＥ１０模式经微波模式转换器转变为同轴线中的ＴＥＭ模式，再由ＴＥＭ模式转变为圆波导的ＴＭ０１模式，ＴＭ０１模式激发低压气体形成等离子体，等离子体严重影响微波模式分布，在国内首次成功运行了５ｋＷ天线耦合石英窗式ＭＰＣＶＤ装置。 |
| 《真空与低温》 1997,3(2).-74-76 |
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