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金刚石合成腔内污染机制研究
何立洲
关键词:金刚石 合成 白色污染物 导电堵头 静压法 污染
主要内容:本文对金刚石合成腔体中产生白色污染-2MnO.SiO2复合氧化物形成机制进行了试验,分析与研究,指出水的存在和组装方式是产生污染的主要因素,并提出了避免污染的措施。
《超硬材料与工程》 1997(3).-6-11
全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp
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