| C60作为石英衬底过渡层气相生长金刚石薄膜 |
| 杨国伟[1] 刘大军[2] |
| 关键词：石英 过渡层 金刚石薄膜 碳60 MWPCVD |
| 主要内容：本文采用微波等离子体化学气相沉积方法，以Ｃ６０膜作为过渡层，在石英衬底表面，首次在等离子体预处理中无衬底负偏压条件下的生长出金刚石晶粒。通过扫描电镜观察到金刚石晶粒呈菜花状，生长表现为（１００）晶界。 |
| 《金刚石与磨料磨具工程》 1997(4).-5-7 |
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