| 加速器法沉积无氢类金刚石薄膜的性能与结构 |
| 王磊 黎晶 |
| 关键词：加速器法 无氢类 金刚石膜 |
| 主要内容：本文对用加速器法（ＣＡＤ）在９Ｃｒ１８不锈轴承钢上制备的无氢类金刚石（ＨＦＤＬＣ）样品进行了显微硬度测试、磨擦磨损试验、激光扫描显微镜（ＬＳＭ）观察和透射电镜（ＴＥＭ）分析。试验结果表明用该工艺方法制 的ＨＦＤＬＣ膜具有非晶态显微结构，硬度极高，磨擦贪婪在损性能优异。 |
| 《电子显微学报》 1997,16(4).-511-512 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号