产业集群决策
 
燃焰法CVD金刚石厚膜制备工艺研究
 
黄树涛[1] 姚英学[2]
关键词：金刚石厚膜 燃焰法 化学气相沉积 制备 生长
 
主要内容：用燃焰法进行了金刚石厚膜的沉积实验，制备了厚度的０．６ｍｍ的金刚石厚膜。用扫描电镜观察了金刚石厚膜的生长过程，研究了生长工艺。
 
《沈阳工业学院学报》  1997,16(1).-34-38
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