产业集群决策
 
碳氮膜的研究进展
 
刘祖琴 晁晟
关键词：碳氮膜 氢致碳氮膜 碳氮含量比 超硬材料
 
主要内容：简要回顾了碳氮膜的发展历史，综述了碳氮膜研究的最新进展，并对这类膜的发展前景进行了展望。
 
《微细加工技术》  1997(3).-75-78
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