预沉积无序碳对CVD金刚石成膜的增强作用
 
唐壁玉 靳九成

关键词:化学气相沉积 金刚石薄膜 成核 无定形碳
 
主要内容:研究了热丝CVD系统中预沉积无定形碳对金属石成核的促进作用,分析了金 不管不顾民核的特征和机理,探索了无定形碳上金刚石成核的条件,并由此实现了YG8硬质合金上金刚石的成核和生长。
 
《材料科学与工艺》  1997,5(3).-76-78
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