| 金刚石薄膜形核与长大动力学的研究 |
| 张贵锋 耿东生 |
| 关键词：金刚石薄膜 热丝CVD 形核 长大动力学 |
| 主要内容：采用热丝ＣＶＤ法在半底上合成了金刚石薄膜，研究了工艺参数对金刚石形核与长大的影响规律。形核密度随甲烷深度的增加和抛光膏粒度的减小而增加，随衬底工上升而增加至极值后下降，衬底温度过低，形核密度增加但形核为球状。 |
| 《材料科学与工艺》 1997,5(3).-30-34 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号