| 石英钟罩式MPCVD制备金刚石薄膜 |
| 俞世吉 邬钦崇 |
| 关键词：石英钟罩 MPCVD 金刚石薄膜 |
| 主要内容：利用自行研制的新型石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）装置进行轩金刚石薄膜的实验研究。用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）对形貌观察和喇曼谱测试表明，由此装置可以面积较大、晶体良好、杂质少、比较纯净的高质量金刚石薄膜。 |
| 《新技术新工艺》 1998(2).-28-29 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号