产业集群决策
 
工艺参数对金属刚石薄膜显微结构与性能的影响
 
杨巧勤
关键词：金刚石薄膜 显微结构 性能 工艺参数 薄膜生长
 
主要内容：
 
《炭素》  1998(1).-21-25
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